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【实用新型】一种蓝宝石晶棒切割过程中线弓大小监测装置_哈尔滨秋冠光电科技有限公司_202322743032.8 

申请/专利权人:哈尔滨秋冠光电科技有限公司

申请日:2023-10-13

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN221187150U

主分类号:B28D5/04

分类号:B28D5/04;B28D5/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权

摘要:本实用新型公开了一种蓝宝石晶棒切割过程中线弓大小监测装置,由红外距离测量装置和晶棒切割机构两部分组成,红外距离测量装置包括红外射线发射装置、红外射线感应接收装置、信号传输分析装置;晶棒切割机构包括布线绕线装置、工件进给装置。本实用新型在原有切割设备单一的依靠切割工艺控制的晶棒进给速度基础上,增加红外距离测量装置,通过红外射线发射装置和红外射线感应接收装置,测量、计算在整个晶棒切割过程中,对已经产生的线网偏移高度实时进行监控,改善了现有切割设备技术的局限性,提升蓝宝石切割片质量,改善下料晶片数值。

主权项:1.一种蓝宝石晶棒切割过程中线弓大小监测装置,其特征在于它是由安装在蓝宝石晶棒多线切割设备上的红外距离测量装置和晶棒切割机构两部分组成,红外距离测量装置包括红外射线发射装置、红外射线感应接收装置、信号传输分析装置;晶棒切割机构包括布线绕线装置、工件进给装置;红外射线发射装置与红外射线感应接收装置相互配合,通过红外线光线测量线网偏移距离;信号传输分析装置连接红外射线感应接收装置和晶棒切割机构,负责将接收到的测量信号反馈给晶棒进给装置;布线绕线装置包括两个表面有胶状树脂涂层的圆柱体,圆柱体设置有同心圆沟槽,同心圆沟槽上均匀设置有待切割晶棒使用的金刚石线锯,圆柱体两端连接切割设备的固定轴承和活动轴承;工件进给装置包括相连接的气压控制装置和夹持粘接好晶棒的料板的夹持工具。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 哈尔滨秋冠光电科技有限公司 一种蓝宝石晶棒切割过程中线弓大小监测装置

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