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一种取送片升降冷却电极工作台 

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申请/专利权人:北京金盛微纳科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种取送片升降冷却电极工作台,涉及真空室工作台技术领域,包括操作板,操作板的顶部固定安装有真空室,真空室的顶部活动插设有插板,真空室的外壁一侧固定安装有机械手组件,真空室的内表壁设置有样片台区域,操作板的顶部固定安装有电极升降气缸,电极升降气缸的输出端固定安装有连接板,连接板的顶部固定安装有两个电极顶杆,两个电极顶杆的顶部均固定安装有冷却电极,且两个冷却电极的外表壁均与真空室的内部相连通。本实用新型中,启动电极升降气缸,使其带动连接板以及两个电极顶杆和两个冷却电极向上移动,并将两个冷却电极送入样片台区域的下方且将电极送入工作区域,提高了该真空室工作台的使用效果。

主权项:1.一种取送片升降冷却电极工作台,其特征在于:包括操作板1,所述操作板1的顶部固定安装有真空室2,所述真空室2的顶部活动插设有插板3,所述真空室2的外壁一侧固定安装有机械手组件4,所述真空室2的内表壁设置有样片台区域5,所述操作板1的顶部固定安装有电极升降气缸6,所述电极升降气缸6的输出端固定安装有连接板7,所述连接板7的顶部固定安装有两个电极顶杆8,两个所述电极顶杆8的顶部均固定安装有冷却电极9,且两个冷却电极9的外表壁均与真空室2的内部相连通,所述真空室2的内壁底部固定安装有两个第一密封波纹管10,且两个第一密封波纹管10的顶部与两个冷却电极9的底部固定连接。

全文数据:

权利要求:

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