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申请/专利权人：深圳市新凯来工业机器有限公司
摘要：本申请实施例提供一种转子盖板及快速热处理装置，涉及半导体设备技术领域，用于解决转子污染及生产效率低的技术问题。该转子盖板具有第一通孔，第一通孔套设在转子上，且第一通孔的至少部分内壁延伸至转子的正上方，转子盖板与反应腔室接触的表面设置有凹陷部或者凸出部，以减少转子盖板与反应腔室的接触面积。一方面可以对转子进行遮挡，减少转子的污染，保证转子转动的稳定性和使用寿命，提高生产效率；另一方面降低转子盖板与反应腔室之间的热传导，进而减少转子盖板的热量损失，以减少污染物在转子盖板上的沉积，降低对转子盖板的污染，延长快速热处理装置的清洁周期，减少快速热处理装置的清洁次数，提高生产效率。
主权项：1.一种转子盖板，其特征在于，应用于快速热处理装置的反应腔室内，所述反应腔室内还设置有转子；所述转子盖板具有第一通孔，所述第一通孔套设在所述转子上，且所述第一通孔的至少部分内壁延伸至所述转子的正上方，所述转子盖板朝向所述反应腔室的表面设置有凹陷部或者凸出部；当所述转子盖板朝向所述反应腔室的表面设置有所述凹陷部时，所述转子盖板朝向所述反应腔室的表面与所述反应腔室相接触，当所述转子盖板朝向所述反应腔室的表面设置有所述凸出部时，所述凸出部朝向所述反应腔室的表面与所述反应腔室相接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市新凯来工业机器有限公司 转子盖板及快速热处理装置
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