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一种石英坩埚吸盘 

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申请/专利权人:双良硅材料(包头)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种石英坩埚吸盘,包括顶端封口底端开口的吸盘主体,所述吸盘主体的开口端设置有连接环面,所述连接环面垂直所述吸盘主体的中心线设置;所述连接环面上设置有橡胶垫,所述橡胶垫包括接触平面,所述接触平面与石英坩埚的锅口适配设置,所述接触平面远离所述连接环面的面上设置有环形的限位沿,所述限位沿的直径与石英坩埚的锅口外径对应设置。本实用新型的石英坩埚吸盘,提高了石英坩埚的锅口与吸盘对正的速率,提高了工作效率,提高了石英坩埚在挪动过程中的安全系数,节约了成本。

主权项:1.一种石英坩埚吸盘,其特征在于,包括顶端封口底端开口的吸盘主体,所述吸盘主体的开口端设置有连接环面,所述连接环面垂直所述吸盘主体的中心线设置;所述连接环面上设置有橡胶垫,所述橡胶垫包括接触平面,所述接触平面与石英坩埚的锅口适配设置,所述接触平面远离所述连接环面的面上设置有环形的限位沿,所述限位沿的直径与石英坩埚的锅口外径对应设置。

全文数据:

权利要求:

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