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申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司
申请日：2023-11-28
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221198037U
主分类号：F27B17/00
分类号：F27B17/00;F27D1/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型的实施例提供了一种退火炉，涉及半导体器件制造技术领域。退火炉包括腔体、腔盖以及导向轴，腔盖开设有导向孔，导向轴与腔体可拆卸连接，导向轴穿设于导向孔，以用于将腔盖与腔体对准装配。该退火炉的腔体与腔盖能够对准装配，操作简单，装配效率高。
主权项：1.一种退火炉，其特征在于，包括：腔体10；腔盖20，所述腔盖20开设有导向孔21；以及，导向轴30，所述导向轴30与所述腔体10可拆卸连接，所述导向轴30穿设于所述导向孔21，以用于将所述腔盖20与所述腔体10对准装配。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡邑文微电子科技股份有限公司 一种退火炉
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