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申请/专利权人：上海复驰信息科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种链式刻蚀机的运输装置，包括多个滚轮以及等长的内支架和外支架，多个滚轮等距间隔连接在内支架和外支架之间，相邻滚轮之间的距离为40mm，外支架的外侧固定有多个固定座，多个固定座之间可转动连接有一传动轴，传动轴上设置有多组用于驱动相邻两个滚轮同步转动的同步机构；优点是通过减小滚轮间距有效提升硅片在传送过程中的支撑密度，从而解决传统设计滚轮间距大导致的硅片传输不稳问题。
主权项：1.一种链式刻蚀机的运输装置，包括多个滚轮以及等长的内支架和外支架，多个滚轮等距间隔连接在所述内支架和所述外支架之间，其特征在于：相邻所述滚轮之间的距离为40mm，所述外支架的外侧固定有多个固定座，多个所述固定座之间可转动连接有一传动轴，所述传动轴上设置有多组用于驱动相邻两个所述滚轮同步转动的同步机构。
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百度查询： 上海复驰信息科技有限公司 一种链式刻蚀机的运输装置
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