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申请/专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司;南大光电半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种金属前驱体化合物的分装装置，所述金属前驱体化合物的分装装置，包括原料罐；分装罐；真空泵；管道组件包括连通于所述原料罐的液相口与分装罐的进料口之间的主管道、与真空泵相连接的真空管道、惰性气体管道、连接管道以及与主管道相连接的清洗管道，连接管道的一端与所述主管道相连接，另一端与真空管道以及惰性气体管道相连接；阀门组件，包括设置于所述主管道上的第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门以及第五阀门；第一过滤器设置于所述主管道上。本实用新型的金属前驱体化合物的分装装置能够无需在手套箱惰性气氛中对金属前驱体化合物进行分装，且不会污染分装后的金属前驱体化合物。
主权项：1.一种金属前驱体化合物的分装装置，其特征在于，所述分装装置包括：原料罐，具有液相口，所述液相口处设置有液相阀门；分装罐，具有进料口，所述进料口处设置有分装阀门；真空泵；管道组件，包括连通于所述原料罐的液相口与分装罐的进料口之间的主管道、与所述真空泵相连接的真空管道、惰性气体管道、连接管道以及与所述主管道相连接的清洗管道，所述连接管道的一端与所述主管道相连接，另一端与真空管道以及惰性气体管道相连接；阀门组件，包括设置于所述主管道上的第一阀门、设置于连接管道上的第二阀门、设置于所述真空管道上的第三阀门、设置于所述惰性气体管道上的第四阀门、以及设置于所述清洗管道上的第五阀门；第一过滤器，设置于所述主管道上，且位于所述液相阀门和第一阀门之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏南大光电材料股份有限公司 南大光电半导体材料有限公司 金属前驱体化合物的分装装置
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