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申请/专利权人：昆山龙腾光电股份有限公司
摘要：本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种光罩检查机构及光罩清洁设备。光罩检查机构包括风机组件、制冷风道和制热风道，制冷风道和制热风道均与风机组件相连通，风机组件用于向制冷风道和制热风道内吹入空气，制冷风道被配置为对吹入的空气降温，制热风道被配置为对吹入的空气加热，并且制冷风道和制热风道用于同时向光罩的表面吹气，以使光罩的表面产生雾气，从而检查光罩的表面是否存在印记，降低了对光罩的检测难度，提高了对光罩的检查效率，也保证了产品的良率。此外，通过冷热空气相遇产生雾气，避免了光罩的表面残留水渍，保证了光罩的正常使用。光罩清洁设备通过应用上述光罩检查机构，提高了工作效率，也保证了产品的良率。
主权项：1.一种光罩检查机构，其特征在于，包括：风机组件1；制冷风道2，所述制冷风道2与所述风机组件1相连通；制热风道3，所述制热风道3与所述风机组件1相连通；所述风机组件1被配置为向所述制冷风道2和所述制热风道3内吹入空气，所述制冷风道2被配置为对吹入的所述空气降温，所述制热风道3被配置为对吹入的所述空气加热，并且所述制冷风道2和所述制热风道3用于同时向光罩200的表面吹气。
全文数据：
权利要求：
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