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弹性波装置 

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申请/专利权人:株式会社村田制作所

摘要:本发明提供一种在谐振频率与反谐振频率之间的带内能够抑制无用波并且能够减小插入损耗的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置10具备:支承构件,包含支承基板;压电层14,设置在支承构件上,包含铌酸锂或钽酸锂,并且具有相互对置的第1主面14a以及第2主面14b;IDT电极11,设置在压电层14的第1主面14a,具有一对汇流条第1汇流条26、第2汇流条27和多个电极指多个第1电极指28、第2电极指29;以及至少一个质量附加膜,设置在压电层14上。在沿着支承构件和压电层14的层叠方向观察的俯视下,在与IDT电极11的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。将压电层14的厚度设为d,将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p,在该情况下,dp为0.5以下。在IDT电极11的一个汇流条连接有多个电极指中的一部分的电极指。在另一个汇流条连接有多个电极指中的剩下的电极指。连接于一个汇流条的多个电极指和连接于另一个汇流条的多个电极指彼此相互交错对插。将相邻的电极指彼此相互对置的方向设为电极指对置方向,在从电极指对置方向观察时,相邻的电极指彼此相互重叠的区域为交叉区域F。位于交叉区域F与一对汇流条之间的区域为一对间隙区域第1间隙区域G1、第2间隙区域G2。至少一个质量附加膜第1质量附加膜24与间隙区域在俯视下重叠,并且设置在压电层14的第2主面14b。

主权项:1.一种弹性波装置,具备:支承构件,包含支承基板;压电层,设置在所述支承构件上,包含铌酸锂或钽酸锂,并且具有相互对置的第1主面以及第2主面;IDT电极,设置在所述压电层的所述第1主面,具有一对汇流条和多个电极指;以及至少一个质量附加膜,设置在所述压电层上,在沿着所述支承构件和所述压电层的层叠方向观察的俯视下,在与所述IDT电极的至少一部分重叠的位置形成有声反射部,在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述电极指彼此的中心间距离设为p的情况下,dp为0.5以下,在所述IDT电极的一个所述汇流条连接有所述多个电极指中的一部分的电极指,在另一个所述汇流条连接有所述多个电极指中的剩下的电极指,连接于一个所述汇流条的所述多个电极指和连接于另一个所述汇流条的所述多个电极指彼此相互交错对插,将相邻的所述电极指彼此相互对置的方向设为电极指对置方向,在从所述电极指对置方向观察时,所述相邻的电极指彼此相互重叠的区域为交叉区域,位于所述交叉区域与所述一对汇流条之间的区域为一对间隙区域,至少一个所述质量附加膜与所述间隙区域在俯视下重叠,并且设置在所述压电层的所述第2主面。

全文数据:

权利要求:

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