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申请/专利权人：杭州电子科技大学
申请日：2024-03-29
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248263A
主分类号：G16C60/00
分类号：G16C60/00;G06F30/28;G06F113/08;G06F119/14
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明属于微电子技术领域，具体涉及一种电场作用下微气泡迁移的研究方法，包括以下步骤：S1、选择透光的导电液体，并在导电液体中加入微气泡；导电液体的两侧分布有石墨电极；S2、对已导入微气泡的导电液体施加电场，通过对电场强度的改变以及微气泡尺寸大小，分别得到同一微气泡尺寸不同电场以及不同微气泡尺寸相同电场的迁移状况；S3、建立电场作用下微气泡在导电液体中迁移运动的系统模型；S4、对系统模型进行编译并仿真。本发明选用导电液体，注入微气泡并且施加适当强度的电场，进行微气泡迁移的研究，能够改善激光加工深度不够的问题，并且形态较为稳定；通过该方法能够有效地得到更高质量，更优质性能的微纳器件。
主权项：1.一种电场作用下微气泡迁移的研究方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、选择透光的导电液体，并在导电液体中加入微气泡；导电液体的两侧分布有石墨电极；S2、对已导入微气泡的导电液体施加电场，通过对电场强度的改变以及微气泡尺寸大小，分别得到同一微气泡尺寸不同电场以及不同微气泡尺寸相同电场的迁移状况；S3、建立电场作用下微气泡在导电液体中迁移运动的系统模型；其中，系统模型的建立过程包括：在电场的作用下，将气泡假定为内部为空腔且厚度忽略不计的一颗微粒球，则微气泡表面所受电场力的法向和切向分量方程为： 其中，β＝-εrl-123，Y＝εrlεrV，x＝ρlρa；E0为均匀电场的电场强度，ε0为真空介电常数，εrl和εrV分别为导电液体和微气泡的相对介电常数，ρl和ρg分别为导电液体和微气泡的密度，θ为微气泡球面实际电场方向与水平方向的夹角；电场作用下微气泡在石墨电极之间的运动表示为x和y方向的运动方程为： 其中，R为微气泡半径，μ为导电液体的粘滞系数，g为重力加速度，εl和εg分别为导电液体和微气泡的介电常数，L为两石墨电极的间距，Rw为石墨电极的半径，V为石墨电极两端电压；其中，石墨电极为圆柱体结构；S4、对系统模型进行编译及仿真。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州电子科技大学 一种电场作用下微气泡迁移的研究方法
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