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申请/专利权人：埃特曼半导体技术有限公司
摘要：本发明涉及一种腐蚀处理用霍尔样品夹具及霍尔效应测试仪，霍尔样品夹具包括：支架，其包括相连的固定框和托盘；压紧组件，其包括安装件和至少四个压杆，安装件可轴向移动地连接于固定框，至少四个压杆分别铰接于安装件，压杆的末端配置有吸盘；驱动组件，其用以驱动安装件沿轴向移动；当夹持霍尔样品时，将霍尔样品放置于托盘上，四个吸盘覆盖于位于霍尔样品的四个拐角处的金属电极的上表面，驱动组件驱动安装件带动至少四个压杆向下运动，通过吸盘将霍尔样品压紧于托盘上。本发明的霍尔样品夹具，能够稳定夹持霍尔样品，避免霍尔样品在腐蚀处理过程中发生掉落而影响腐蚀效果，能够防止金属电极被腐蚀，进而能够提高后续霍尔效应测试结果的准确性和稳定性。
主权项：1.一种腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述霍尔样品夹具包括：支架1，其包括相连的固定框11和托盘12；压紧组件2，其包括安装件21和至少四个压杆22，所述安装件21可轴向移动地连接于所述固定框11，所述至少四个压杆22分别铰接于所述安装件21，所述压杆22的末端配置有吸盘23；驱动组件3，其用以驱动所述安装件21沿所述轴向移动；其中，当夹持所述霍尔样品时，将所述霍尔样品放置于所述托盘12上，四个所述吸盘23覆盖于位于所述霍尔样品的四个拐角处的金属电极的上表面，所述驱动组件3驱动所述安装件21带动所述至少四个压杆22向下运动，通过所述吸盘23将所述霍尔样品压紧于所述托盘12上。
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权利要求：
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