申请/专利权人:莫克斯泰克公司
申请日:2020-08-27
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118244407A
主分类号:G02B5/30
分类号:G02B5/30
优先权:["20190827 US 62/892,135","20190830 US 62/894,484","20191218 US 62/949,568"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:线栅偏振器可以包括基板上的支撑肋的阵列。支撑肋的侧面可以向一侧倾斜。导线可被施加在每个支撑肋的上侧面和远端上,每根导线与毗邻支撑肋上的导线分离。线栅偏振器可在具有减少的蚀刻或没有蚀刻的情况下制造。
主权项:1.一种制造线栅偏振器WGP的方法,所述方法包括:在基板的面上施加未固化层;在所述未固化层中压印未固化支撑肋的图案,其中15°≤A92≤75°,其中A92是平面和所述基板的所述面之间的最小角度,所述平面沿着每个支撑肋的长度从所述近端延伸到所述远端穿过所述支撑肋的中心;固化所述未固化层,包括将所述未固化支撑肋固化成实心且固化的支撑肋;以及在每个支撑肋的所述上侧面和所述远端上沉积导线,每根导线与毗邻的支撑肋上的导线分离。
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