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申请/专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日：2024-03-26
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118242897A
主分类号：F27D7/02
分类号：F27D7/02;F27B17/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供一种进气组件以及炉管，进气组件包括：进气管；进气管用于向炉体供气，进气管沿炉体的侧壁和顶壁延伸，进气管上设置有多个出气孔，进气管具有进气端，出气孔的孔径随着出气孔与进气端之间的距离的变化而变化。如此配置，本申请通过改变进气管的长度以及出气孔的孔径来实现分散气体的目的，以使得气体浓度分布更加均匀，膜厚均一性得到改善。
主权项：1.一种进气组件，其特征在于，包括：进气管；所述进气管用于向炉体供气，所述进气管沿所述炉体的侧壁和顶壁延伸，所述进气管上设置有多个出气孔，所述进气管具有进气端，所述出气孔的孔径随着所述出气孔与所述进气端之间的距离的变化而变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力微电子有限公司 进气组件以及炉管
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皖公网安备 34010402703815号