申请/专利权人：湖畔光电科技(江苏)有限公司

申请日：2020-12-30

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN112635513B

主分类号：H01L27/15

分类号：H01L27/15;H01L33/50;H01L33/58;G03F7/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明涉及微型显示技术领域，尤其是一种硅基OLED微显示屏及应用于该显示屏的MicroLens的制造方法；包括硅基OLED微显示屏和具有MicroLens结构的盖板玻璃，所述盖板玻璃上有MicroLens结构，MicroLens结构包括若干微结构一，位于每个微结构一上的微结构二，以及位于每个微结构二上方的光刻胶微结构，每个光刻胶微结构包覆微结构一和微结构二设置，本发明是基于盖板玻璃制作，在玻璃刻蚀出微结构，之后再在衬底表面用有机材料制作出微透镜，玻璃微结构和微透镜一起组成MicroLens，相比于只是采用光刻胶材料制作出的MicroLens，亮度能够提升30％以上。

主权项：1.一种应用于硅基OLED微显示屏的MicroLens的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：S1在玻璃基板上，先后经过光刻工艺、刻蚀工艺制作出微结构一；S2继续在具有微结构一的玻璃基板上，依次采用光刻工艺、刻蚀工艺制作出微结构二；S3在具有微结构二的玻璃基板上旋涂光刻胶，通过曝光、显影、烘烤固化后制作成光刻胶微结构；S4在硅基OLED微显示屏的彩色滤光膜上点胶，将步骤S3中玻璃基板上有光刻胶微结构的面与显示屏贴合，从而完成MicroLens的制作；步骤S1具体包括在玻璃表面旋涂一层厚度均匀的光刻胶，经过光刻机曝光、显影机显影后，在玻璃表面制作出阵列排布的横截面为矩形的光刻胶图形，之后对有光刻胶图形的表面进行玻璃刻蚀工序，完成后用去胶溶液浸泡或者等离子去胶机去除上表面光刻胶，从而制得微结构一；步骤S2具体包括：旋涂一层厚度均匀的光刻胶，然后光刻曝光和显影，光刻需要套刻对位，从而在微结构一的正上方形成横截面为矩形的光刻胶图形，光刻胶图形中心位置与微结构一的中心相同；之后对有光刻胶图形的表面进行玻璃刻蚀工序，完成后用去胶溶液浸泡或者等离子去胶机去除上表面光刻胶，从而制得微结构二；步骤S3具体包括：旋涂一层厚度均匀的光刻胶，光刻胶材料的折射率n小于玻璃的折射率，然后进行光刻、显影工序，光刻需要套刻对位，显影后制作出阵列排布的横截面为矩形的光刻胶图形，光刻胶图形的中心位置与玻璃微结构二的中心相同；最后放入热板中进行烘烤，直至光刻胶被烘烤成半球形，从而形成光刻胶微结构；步骤S4中点胶的材料的折射率低于光刻胶微结构。

全文数据：

权利要求：

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