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申请/专利权人：上海优尊真空设备有限公司
申请日：2023-12-05
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN117489563B
主分类号：F04B37/08
分类号：F04B37/08
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开
摘要：本发明涉及真空泵技术领域，具体涉及一种改进型低温泵，包括外壳体、冷屏、冷伞以及制冷装置；本发明中的改进型低温泵，尤其适用于半导体行业中芯片镀膜等加工过程中，提供纯净的真空环境且真空度可达到10‑9Pa，不引入其他的杂质，保证加工精度。通过制冷装置进行制冷，主要对冷屏以及冷伞结构进行降温，形成低温环境尤其是冷伞结构可达到超低温即10K的温度，在低温环境下，冷伞上设置的吸附剂可以将环境中气体分子进行吸附并凝固在其上，实现真空环境。所述冷屏采用铜材质制成且内侧壁上镀覆有镍涂层，即在冷屏内壁上设置有黑色涂层，反射辐射的热能，防止热量反射至冷伞上，减少热辐射对真空环境可能造成的波动。
主权项：1.一种改进型低温泵，其特征在于，包括外壳体1、冷屏2、冷伞3以及制冷装置；所述外壳体1设置为一端开口的中空结构，所述冷屏2固定设置在外壳体1的内部且结构相适配，所述外壳体1与冷屏2之间设置有间隙，所述冷屏2的一端设置有通孔，所述冷屏2的高度小于外壳体1的高度；所述冷伞3设置在冷屏2内，所述冷伞3的表面涂覆有吸附剂，所述制冷装置与冷伞3连接，为冷屏2内提供制冷作用；所述冷伞3包括第一冷伞结构和第二冷伞结构，所述第一冷伞结构包括多个第一冷伞片31，第一冷伞片31包括一个设置为平面的端面311以及一个与圆环形的侧面312且固定连接，端面311与侧面312的夹角设置为钝角；所述第二冷伞结构包括多个第二冷伞片32，第二冷伞片32由两个镜像设置的圆环片321固定拼接而成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海优尊真空设备有限公司 一种改进型低温泵
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