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一种含高氯酸的混酸蚀刻液中酸浓度定量的测定方法 

申请/专利权人:易安爱富(武汉)科技有限公司

申请日:2022-08-10

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN115343410B

主分类号:G01N31/16

分类号:G01N31/16

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权;2022.12.02#实质审查的生效;2022.11.15#公开

摘要:本发明提出了一种含高氯酸的混酸蚀刻液中酸浓度定量的测定方法,在冰醋酸中加入待测混酸样品,自动电位滴定仪滴定至出现第一EP点,根据第一EP点所消耗强碱醇类溶液的体积来计算高氯酸的浓度;然后,醇溶剂中加入待测混酸样品,自动电位滴定仪滴定至分别出现第一EP点、第二EP点和第三EP点,硝酸与高氯酸同为无机强酸,磷酸为中强酸,醋酸为弱酸,第一EP点强碱醇类溶液是硝酸与高氯酸共同消耗,硝酸浓度计算需扣除高氯酸所消耗体积,第二EP点、第三EP点所消耗强碱醇类溶液的体积来计算磷酸和醋酸的浓度。本发明采用分步法可以准确测量出蚀刻液混酸中所含的高氯酸、硝酸、磷酸和醋酸的浓度。

主权项:1.一种含高氯酸的混酸蚀刻液中酸浓度定量的测定方法,其特征在于:测定方法包括如下步骤:S1,将含有高氯酸、硝酸、磷酸和醋酸的混酸蚀刻液样品加入冰醋酸中,在自动电位滴定仪上用强碱醇类溶液滴定至出现第一EP点,根据出现第一EP点所消耗的强碱醇类溶液的体积来计算高氯酸的浓度,计算公式为: ;其中,C为滴定剂强碱醇类溶液实际浓度molL,M0为100.46gmol的HClO4,m0为待测混酸样品质量g;S2,将含有高氯酸、硝酸、磷酸和醋酸的混酸蚀刻液样品加入醇溶剂中,在自动电位滴定仪上用强碱醇类溶液滴定至出现第一EP点、第二EP点和第三EP点,根据出现该第一EP点、第二EP点和第三EP点时所消耗的强碱醇类溶液的体积计算混酸蚀刻液中硝酸、磷酸和醋酸的浓度,计算公式为: ; ; ;其中,C为滴定剂强碱醇类溶液实际浓度molL,M0为100.46gmol的HClO4,M1为63.01gmol的HNO3,M2为98.00gmol的H3PO4,M3为60.05gmol的HAc,V0为步骤S1第一EP点所消耗体积ml,V1为步骤S2第一EP点所消耗体积ml,V2为步骤S2第二EP点所消耗体积ml,V3为步骤S2第三EP点所消耗体积ml,m0为步骤S1待测混酸样品质量g,m1为步骤S2待测混酸样品质量g。

全文数据:

权利要求:

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