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申请/专利权人：量子技术有限公司
申请日：2020-06-26
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN114127344B
主分类号：C30B31/22
分类号：C30B31/22;C30B33/02;C30B29/04
优先权：["20190627 DE 102019117423.6"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2023.12.19#著录事项变更;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开
摘要：本发明涉及用于在金刚石层中产生至少一个确定性色心的方法。通过在第一步骤中将至少一种掺杂剂注入到金刚石层中并在第二步骤借助于低能离子轰击将至少一个杂质原子掺合到金刚石层中以形成色心，可以实现大于70％的非常高的转化率。与转化率只约为6％的未掺杂的金刚石相比，这是一个显著的增长。在此，通过用诸如磷、氧或硫等供体进行掺杂，能够实现可用于量子位应用的带负电的色心的转化率。
主权项：1.一种用于在金刚石层15中产生至少一个确定性NV-中心54的方法10，其特征在于，在第一步骤12中，将至少一种掺杂剂注入到所述金刚石层15中，其中，将供体用作所述掺杂剂，所述供体即为锂、氧、硫或磷，并且在第二步骤22中，通过离子轰击将至少一个氮原子作为杂质原子掺合到所述金刚石层15中，以形成所述NV-中心54，其中，所述离子轰击22是利用离子注量为1010cm-2以下的杂质原子进行的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 量子技术有限公司 用于在金刚石层中产生至少一个确定性色心的方法
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