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申请/专利权人：尼得科精密检测设备(浙江)有限公司
申请日：2023-12-11
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221216032U
主分类号：B65G47/74
分类号：B65G47/74;B65G47/22;B07C5/34;B07C5/36
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：一种基板搬运装置，在确保经由托架搬运的基板的定位精度同时，有助于抑制基板搬运装置的磨损。本实用新型的基板搬运装置包括托架和主体部，所述托架供基板载放并对基板进行定位，所述主体部具有：基板搬运口，其供所述托架进出；搬运路径，其供从所述基板搬运口进出的所述托架沿水平方向中的第一方向搬运；输送部，其沿所述第一方向搬运所述托架；托架升降部，其使搬运至所述搬运路径中的预设位置的所述托架在接触所述输送部的位置与离开所述输送部的位置之间升降；推压部，其朝向水平方向中的与所述第一方向正交的第二方向推压所述托架；以及第二方向定位部，其供由所述推压部推压来的所述托架在所述第二方向上抵接。
主权项：1.一种基板搬运装置，其特征在于，包括托架和主体部，所述托架供基板载放并对基板进行定位，所述主体部具有：基板搬运口，该基板搬运口供所述托架进出；搬运路径，该搬运路径供从所述基板搬运口进出的所述托架沿水平方向中的第一方向搬运；输送部，该输送部沿所述第一方向搬运所述托架；托架升降部，该托架升降部使搬运至所述搬运路径中的预设位置的所述托架在接触所述输送部的位置与离开所述输送部的位置之间升降；推压部，该推压部朝向水平方向中的与所述第一方向正交的第二方向推压所述托架；以及第二方向定位部，该第二方向定位部供由所述推压部推压来的所述托架在所述第二方向上抵接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 尼得科精密检测设备(浙江)有限公司 基板搬运装置
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