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申请/专利权人：郑州势垒科技有限公司
申请日：2023-08-04
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221217981U
主分类号：C30B28/14
分类号：C30B28/14;C30B29/04;C30B30/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了一种用于MPCVD设备的腔内电场调节装置，涉及金刚石生产技术领域，包括生产箱和发电组件；生产箱：前侧安装有显示器和PLC控制器，所述生产箱的内部安装有电场强度检测器，所述生产箱内部的上侧安装有配合组件，所述生产箱的后侧安装有移动组件，所述配合组件的后端与移动组件相连；发电组件：包含静电高压发生器、接线管、下极板和CVD多晶金刚石外延衬底，所述生产箱的下侧安装有静电高压发生器，所述生产箱内部的下侧开设有接线孔，所述接线孔的内部固定有接线管，所述接线管的上侧固定有下极板，所述下极板的上侧固定有CVD多晶金刚石外延衬底，能够快速对生产箱腔内的电场强度进行调节。
主权项：1.一种用于MPCVD设备的腔内电场调节装置，其特征在于：包括生产箱1和发电组件5；生产箱1：前侧安装有显示器2和PLC控制器3，所述生产箱1的内部安装有电场强度检测器4，所述生产箱1内部的上侧安装有配合组件6，所述生产箱1的后侧安装有移动组件7，所述配合组件6的后端与移动组件7相连；发电组件5：包含静电高压发生器51、接线管52、下极板53和CVD多晶金刚石外延衬底54，所述生产箱1的下侧安装有静电高压发生器51，所述生产箱1内部的下侧开设有接线孔，所述接线孔的内部固定有接线管52，所述接线管52的上侧固定有下极板53，所述下极板53的上侧固定有CVD多晶金刚石外延衬底54，所述下极板53通过通电线与静电高压发生器51的输出端相连；其中：所述PLC控制器3的输入端电连接外部电源的输出端，所述静电高压发生器51和显示器2的输入端均电连接PLC控制器3的输出端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州势垒科技有限公司 一种用于MPCVD设备的腔内电场调节装置
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