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申请/专利权人：株洲三一硅能技术有限公司
申请日：2023-10-31
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221217976U
主分类号：C30B15/00
分类号：C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型涉及单晶炉控制技术领域，提供一种单晶炉主副炉室升降系统及单晶炉，本实用新型提供的单晶炉主副炉室升降系统，包括：第一油缸，包括有杆腔和无杆腔，第一油缸的活塞杆作用于单晶炉副炉室，用于驱使单晶炉副炉室升降；换向阀组，包括多个并联的第一换向阀，每个第一换向阀均包括第一工作油口和第二工作油口，有杆腔和无杆腔其中一者与所有第一工作油口连接，另一者与所有第二工作油口连接；第一换向阀适于通过换向控制向有杆腔或无杆腔供油，以控制第一油缸的活塞杆升降；本实用新型结构紧凑，能耗及成本低，实现了分别对单晶炉主炉室及副炉室的升降控制，且能实现对副炉室及主炉室中的坩埚升降速度的控制。
主权项：1.一种单晶炉主副炉室升降系统，其特征在于，包括：第一油缸1，包括有杆腔和无杆腔，所述第一油缸1的活塞杆作用于单晶炉副炉室，用于驱使所述单晶炉副炉室升降；换向阀组，包括多个并联的第一换向阀2，每个所述第一换向阀2均包括第一工作油口和第二工作油口，所述有杆腔和所述无杆腔其中一者与所有所述第一工作油口连接，另一者与所有所述第二工作油口连接；所述第一换向阀2适于通过换向控制向所述有杆腔或所述无杆腔供油，以控制所述第一油缸1的活塞杆升降。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株洲三一硅能技术有限公司 单晶炉主副炉室升降系统及单晶炉
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