申请/专利权人:安徽泓冠光电科技有限公司
申请日:2023-10-31
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN221209117U
主分类号:B08B3/02
分类号:B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00;B26D7/06;B26D7/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.25#授权
摘要:本实用新型公开了划片清洗机水气管,其包括:第一输水管,所述第一输水管接通有输水箱,所述输水箱通过第二输水管接通有喷水管,所述第一输水管数量为两个;输气管,所述输气管接通有吹气管,所述吹气管高度与喷水管高度一致。通过将喷嘴式改良成气管式,增大水气管的流量,在作业时能通过增大流量将芯片表面的杂质清除的更干净,保证了后工序的作业稳定性。
主权项:1.划片清洗机水气管,其特征在于,包括:第一输水管(1),所述第一输水管(1)接通有输水箱(5),所述输水箱(5)通过第二输水管(9)接通有喷水管(8),所述第一输水管(1)数量为两个;输气管(4),所述输气管(4)接通有吹气管(7),所述吹气管(7)高度与喷水管(8)高度一致。
全文数据:
权利要求:
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