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申请/专利权人：上海光链电子科技有限公司
申请日：2023-11-16
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221227815U
主分类号：H05H1/16
分类号：H05H1/16;G04F5/14
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本申请公开了一种电离源装置、氢原子激射器及集成试验系统，该电离源装置包括：放电室、永磁体、感应线圈以及射频源，其中，所述永磁体设置在所述放电室的外周，所述感应线圈间隔设置在所述放电室的上表面，所述射频源与所述感应线圈连接。氢原子激射器，包括电离源装置。集成试验系统，包括：氢原子激射器、电离源装置、隔离放大器以及频谱分析仪，其中，所述氢原子激射器上安装有所述电离源装置，所述氢原子激射器通过所述隔离放大器还与所述频谱分析仪连接。本申请对原有的射频ICP和CCP电离源进行优化，利用电场和磁场对氢等离子体电离过程的综合作用，提高了有效氢原子的制备效率，进而提高了氢原子激射器的工作性能与稳定性。
主权项：1.一种电离源装置，其特征在于，包括：放电室、永磁体、感应线圈以及射频源，其中，所述永磁体设置在所述放电室的外周，所述感应线圈间隔设置在所述放电室的上表面，所述射频源与所述感应线圈连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海光链电子科技有限公司 一种电离源装置、氢原子激射器及集成试验系统
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