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申请/专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请日：2024-05-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118257715A
主分类号：F04B43/113
分类号：F04B43/113;F04B53/06;F04B23/04;F04B49/10
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供了一种化学品供液泵系统及供液方法，包括：数个供液泵，供液泵包括外壳和波纹管，波纹管置于外壳内部；驱动装置，驱动装置连接数个供液泵；排废阀，排废阀连接供液泵；其中，当驱动装置工作时，能够压缩波纹管体积使供液泵为工艺单元供液或者能够增大波纹管体积为供液泵补液，且数个供液泵轮流为工艺单元供液；当补液完成后，波纹管内气体能通过排废阀排出。本发明解决了传统的供液泵系统需要使用除气模组对系统内气体进行处理，导致系统体积增大，系统操作变复杂的技术问题，通过使用驱动装置压缩或者增大波纹管体积的方式供液或补液，实现了缩小系统体积，减小系统操作复杂性的技术效果。
主权项：1.一种化学品供液泵系统，其特征在于，包括：数个供液泵，所述供液泵包括外壳和波纹管，所述波纹管置于所述外壳内部；驱动装置，所述驱动装置连接数个所述供液泵；排废阀，所述排废阀连接所述供液泵；其中，当所述驱动装置工作时，能够压缩所述波纹管体积使所述供液泵为工艺单元供液或者能够增大所述波纹管体积为所述供液泵补液，且数个所述供液泵轮流为所述工艺单元供液；当补液完成后，所述波纹管内气体能通过所述排废阀排出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种化学品供液泵系统及供液方法
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