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申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
摘要：本发明提供了一种复合电极结构及其应用的准分子激光器，复合电极结构包括电极基带、辅助带和电极定位板；辅助带位于所述电极基带和或电极定位板的局部区域内，本发明通过更改电极材料成分及内部结构，改变电极结构不同位置的散热能力，实现放电过程中放电区电极表面电子通量、离子通量及电子温度等的改变，进而改善放电电场的不均匀性，减小电极整体的烧蚀差异，延长电极或放电腔室的使用寿命，同时可以提高准分子激光光源输出激光剂量稳定性及光束的稳定性。
主权项：1.一种复合电极结构，其特征在于，包括：电极基带10和辅助带30；所述辅助带30设置于在所述电极基带10底面局部区域内；所述电极基带10为阳极基带12或阴极基带11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京科益虹源光电技术有限公司 一种复合电极结构及其应用的准分子激光器
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