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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2019-08-13
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN113518913B
主分类号：G01N23/2252
分类号：G01N23/2252;H01J37/24;H01J37/252
优先权：["20190305 JP 2019-039605"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.11.05#实质审查的生效;2021.10.19#公开
摘要：带电粒子束照射装置构成为向试样照射带电粒子束并检测从试样释放的信号。第一处理部10构成为能够与第一输入设备11进行通信，根据来自第一输入设备11的信号，并基于带电粒子束照射装置的检测信号对试样进行分析。第二处理部20构成为能够与第二输入设备21及第一处理部10进行通信，根据带电粒子束照射装置的检测信号来生成试样的观察图像，并且根据来自第二输入设备21的信号控制带电粒子束照射装置。第二输入设备21包括指示设备。第二处理部20将针对指示设备的操作输入转换为对带电粒子束照射装置的控制信号。
主权项：1.一种分析装置，具备：带电粒子束照射装置，其构成为向试样照射带电粒子束，并检测从所述试样释放的信号；第一处理部，其构成为能够与第一输入设备进行通信，并且构成为按照利用所述第一输入设备指定的分析条件，并基于所述带电粒子束照射装置的检测信号对所述试样进行分析；第二处理部，其构成为能够与第二输入设备及所述第一处理部进行通信，并且构成为根据所述带电粒子束照射装置的检测信号生成所述试样的观察图像，并且根据来自所述第二输入设备的信号控制所述带电粒子束照射装置；第一显示器，其构成为能够与所述第一处理部进行通信，用于显示用于表示所述分析条件的图标；以及第二显示器，其构成为能够与所述第二处理部进行通信，用于显示由所述第二处理部生成的所述观察图像、以及用于控制所述带电粒子束照射装置的图标，其中，所述第一输入设备构成为能够接受用于操作在所述第一显示器显示的图标和在所述第二显示器显示的图标的操作输入，所述第二输入设备包括专门用于对所述带电粒子束照射装置的控制的控制用指示设备，所述第二处理部将针对所述控制用指示设备的操作输入转换为对所述带电粒子束照射装置的控制信号。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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