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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2019-02-04
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN111557042B
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/673
优先权：["20180206 US 62/626,762","20180418 US 15/956,481"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.01.29#实质审查的生效;2020.08.18#公开
摘要：本文中提供了一种桥接前开式标准舱FOUP。在一些实施例中，所述桥接FOUP包括：底部底板、侧壁、顶壁、及背壁，形成具有前开口的包壳容积；多个支撑件，被耦接到所述侧壁且延伸到所述包壳容积中，其中所述多个支撑件被配置为支撑基板载具；基部板组件，包括：基部板，被耦接到所述底部底板；一对L形托座，被耦接到所述基部板，其中每个L形托座包括短升降杆；长升降杆，被耦接到所述基部板，其中所述短升降杆及所述长升降杆的高度被选定为使得所述基板在被设置在所述短升降杆及所述长升降杆上时保持水平；以及对接支撑件，被设置在基部板组件附近且被配置为支撑基板载具。
主权项：1.一种桥接前开式标准舱FOUP，包括：底部底板、第一侧壁、第二侧壁、顶壁和背壁，形成具有前开口的包壳容积；多个第一支撑件和对应的多个第二支撑件，所述多个第一支撑件被耦接到所述第一侧壁并且延伸到所述包壳容积中，所述对应的多个第二支撑件被耦接到所述第二侧壁并且延伸到所述包壳容积中，其中第一支撑件和第二支撑件中的每个对应对形成储存狭槽，所述储存狭槽被配置为在基板载具被设置在所述储存狭槽上时支撑所述基板载具；基部板组件，所述基部板组件被耦接到所述底部底板并且包括多个升降杆，所述多个升降杆被配置为在基板被设置在所述多个升降杆上时支撑所述基板；以及对接狭槽，所述对接狭槽被设置在所述基部板组件附近并且被配置为在基板载具被设置在所述对接狭槽上时支撑所述基板载具。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 桥接前开式标准舱(FOUP)
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