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申请/专利权人：苏州海杰兴科技股份有限公司
申请日：2023-10-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221239586U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;B05C11/11;B05C11/115
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型公开了一种晶圆涂覆桶盖。包括桶盖机构、驱动机构；所述驱动机构设置在涂胶桶、清洗桶两侧，涂胶桶、清洗桶顶部分别设置有桶盖机构，桶盖机构设置在驱动机构上，通过驱动机构带动桶盖机构开合；所述驱动机构包括驱动气缸、第一导轨，驱动气缸、第一导轨分别设置在涂胶桶、清洗桶两侧，第一导轨位于涂胶桶、清洗桶之间的部分作为桶盖收纳区；所述桶盖机构包括上层盖板、下层盖板、抽屉式导轨机构，下层盖板两侧分别设置在驱动气缸、第一导轨上，下层盖板上设置有抽屉式导轨机构，上层盖板设置在抽屉式导轨机构上，上层盖板与下层盖板之间通过抽屉式导轨机构展开或层叠。本实用新型占用设备空间小、性能稳定、使用寿命较长。
主权项：1.一种晶圆涂覆桶盖，其特征在于：包括桶盖机构、驱动机构；所述驱动机构设置在涂胶桶、清洗桶两侧，涂胶桶、清洗桶顶部分别设置有桶盖机构，桶盖机构设置在驱动机构上，通过驱动机构带动桶盖机构开合；所述驱动机构包括驱动气缸、第一导轨，驱动气缸、第一导轨分别设置在涂胶桶、清洗桶两侧，第一导轨位于涂胶桶、清洗桶之间的部分作为桶盖收纳区；所述桶盖机构包括上层盖板、下层盖板、抽屉式导轨机构，下层盖板两侧分别设置在驱动气缸、第一导轨上，下层盖板上设置有抽屉式导轨机构，上层盖板设置在抽屉式导轨机构上，上层盖板与下层盖板之间通过抽屉式导轨机构展开或层叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州海杰兴科技股份有限公司 一种晶圆涂覆桶盖
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