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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：提供了一种图像传感器，所述图像传感器包括：基底，具有位于其中的光电转换元件；第一通孔，延伸到基底的第一表面，使得第一通孔的第一上表面邻近基底的第一表面暴露，第一通孔的第二上表面远离基底的第一表面延伸；第一绝缘膜至第三绝缘膜，顺序堆叠在基底的第一表面上；以及接触件，延伸穿过第一绝缘膜至第三绝缘膜，并延伸到第一通孔的第二上表面。接触件包括在第一通孔内的第一部分、在第一绝缘膜中的第二部分、在第二绝缘膜中的第三部分和在第三绝缘膜中的第四部分。
主权项：1.一种图像传感器，所述图像传感器包括：基底，包括位于其中的光电转换元件；第一通孔，位于基底中并延伸到基底的第一表面，其中，第一通孔的第一上表面邻近基底的第一表面暴露，第一通孔的第二上表面远离基底的第一表面延伸；第一绝缘膜、第二绝缘膜和第三绝缘膜，顺序堆叠在基底的第一表面上，其中，第一绝缘膜沿着基底与第一绝缘膜之间的第一界面与第一通孔的第一上表面和基底的第一表面接触；以及接触件，延伸穿过第一绝缘膜、第二绝缘膜和第三绝缘膜并延伸到第一通孔的第二上表面，接触件包括在第一通孔内的第一部分、在第一绝缘膜中的第二部分、在第二绝缘膜中的第三部分和在第三绝缘膜中的第四部分，其中，在第一通孔内的第一部分的侧壁的第一斜面轮廓不同于与第一绝缘膜接触的第二部分的侧壁的第二斜面轮廓。
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