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申请/专利权人:苏州晶生新材料有限公司
摘要:本实用新型提供一种控制晶体生长程度的坩埚炉,包括底座,所述底座顶部设置有提拉箱,所述提拉箱的顶部安装有花键套,且所述花键套贯穿所述提拉箱的顶侧内壁,所述花键套的内部安装有花键轴,所述花键轴的底端穿入所述提拉箱内,且穿入的一端连接有籽晶杆,所述籽晶杆的底端连接有籽晶固定器,所述籽晶杆的表面转动安装有连接套,所述提拉箱内壁的一侧开设有活动槽,所述活动槽的内部安装有螺纹杆,所述螺纹杆的表面套装有活动块,所述活动块的一侧设置有连接杆;本实用新型通过对提拉过程和旋转过程的独立控制,使得可以根据需要调整籽晶粒的提拉速度,从而控制籽晶粒表面结晶的厚度,进而实现不同直径的晶体生产需求。
主权项:1.一种控制晶体生长程度的坩埚(13)炉,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)顶部设置有提拉箱(2),所述提拉箱(2)的顶部安装有花键套(3),且所述花键套(3)贯穿所述提拉箱(2)的顶侧内壁,所述花键套(3)的内部安装有花键轴(4),所述花键轴(4)的顶端从所述花键套(3)的顶端穿出,且穿出的一端连接有限位块,所述花键轴(4)的底端穿入所述提拉箱(2)内,且穿入的一端连接有籽晶杆(5),所述籽晶杆(5)的底端连接有籽晶固定器(6),所述籽晶杆(5)的表面转动安装有连接套(7),所述提拉箱(2)内壁的一侧开设有活动槽(8),所述活动槽(8)的内部安装有螺纹杆(9),所述螺纹杆(9)的表面套装有活动块(10),所述活动块(10)的一侧设置有连接杆(11),且所述连接杆(11)的另一端与所述连接套(7)之间固定相连。
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