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申请/专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司
摘要：本发明涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种光刻板及其应用与芯片，本发明的光刻板，包括第一子板、第二子板和第三子板，第一子板、第二子板和第三子板上均设置有若干阵列排列的光刻版图，光刻版图包括多个相互独立的透光区域，多个所述透光区域均匀排列在同一圆周上，第一子板上的透光区域和第二子板上的透光区域的尺寸相同，且交错设置，第三子板上的透光区域和第一子板上的透光区域的位置相对应，且第三子板上的透光区域的尺寸小于第一子板上透光区域的尺寸。本发明的一种光刻板，通过对光刻板的版图进行设计，在不影响光电性能以及原有的芯片设计尺寸的前提下，能够得到规则的圆形的氧化图形，在一定程度上保证了后续制备得到的芯片的性能。
主权项：1.一种光刻板，其特征在于，包括第一子板、第二子板和第三子板，所述第一子板、第二子板和第三子板上均设置有若干阵列排列的光刻版图，所述光刻版图包括多个相互独立的透光区域，多个所述透光区域均匀排列在同一圆周上，所述第一子板上的透光区域和第二子板上的透光区域的尺寸相同，且交错设置，所述第三子板上的透光区域和第一子板上的透光区域的位置相对应，且第三子板上的透光区域的尺寸小于第一子板上透光区域的尺寸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 威科赛乐微电子股份有限公司 一种光刻板及其应用与芯片
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