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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种光源测量装置、光源测量系统及光源测量方法，涉及测量技术领域，光源测量装置包括第一偏光件、第二偏光件、驱动电机以及位置检测元件。第二偏光件设置于第一偏光件一侧，且位于第一偏光件的光轴路径上，第二偏光件能够绕一轴线旋转；驱动电机与第二偏光件连接，驱动电机用于驱动第二偏光件转动；位置检测元件用于检测第二偏光件的相对位置，以使驱动电机根据第二偏光件的相对位置驱动调节第二偏光件的旋转角度。本发明中，驱动电机可以根据第二偏光件的相对位置调节第二偏光件的旋转角度，可以自动对第二偏光件的旋转角度进行调节，实现光源测量的自动化，不仅可以提高光源测量效率，而且可以提高光源测量的准确性和可靠性。
主权项：1.光源测量装置，其特征在于，包括：第一偏光件；第二偏光件，设置于所述第一偏光件一侧，且位于所述第一偏光件的光轴路径上，所述第二偏光件能够绕一轴线旋转；驱动电机，与所述第二偏光件连接，所述驱动电机用于驱动所述第二偏光件转动；及位置检测元件，用于检测所述第二偏光件的相对位置，以使所述驱动电机根据所述第二偏光件的相对位置驱动调节所述第二偏光件的旋转角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 光源测量装置、光源测量系统及光源测量方法
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