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申请/专利权人：福建天石源智能装备有限公司
摘要：本发明公开了一种浮动支撑及物料支撑的方法，属于物料支撑装置技术领域，该装置包括伸缩组件和控制器，伸缩组件的活动端设有微动感应装置；微动感应装置的感应端朝向伸缩组件的活动端的伸出方向设置；微动感应装置通过控制器与伸缩组件电连接；通过将微动感应装置与伸缩组件相结合，使得微动感应装置与硅晶棒的外圆面相抵触后，能够将硅晶棒支撑点位的高度值以伸缩组件的伸出量的形式记录在控制器中，从而为后续精确计算高度补偿量提供结构上的支持，确保浮动支撑能够适用于任意尺寸的硅晶棒的纠偏工作中。
主权项：1.一种浮动支撑，包括伸缩组件和控制器，其特征在于，所述伸缩组件的活动端设有微动感应装置；所述微动感应装置的感应端朝向伸缩组件的活动端的伸出方向设置；所述微动感应装置通过控制器与伸缩组件电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建天石源智能装备有限公司 一种浮动支撑及物料支撑的方法
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