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申请/专利权人：阿博索伯(苏州)自动化设备科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆检测设备技术领域，具体涉及一种FTIR检测红外光路的上下光路模组，用于反射FTIR红外发生仪发出的红外光，还包括安置在壳体上的上光路模组、与上光路模组相对设置的下光路模组以及设置在上光路模组与下光路模组之间的可旋转的载物平台，上光路模组用以反射红外光以形成第一光路，下光路模组用以折射红外光以形成第二光路，载物平台用以安置待测物，在现有技术的基础上，改进了上下光路模组，于上光路模组与下光路模组之间增设可旋转的载物平台，在对待测物进行检测时，可利用载物平台旋转来调节待测物的角度，进而满足红外光在经上光路模组和下光路模组时候的检测需求。
主权项：1.一种FTIR检测红外光路的上下光路模组，用于反射FTIR红外发生仪发出的红外光，其特征在于，还包括安置在壳体上的上光路模组、与所述上光路模组相对设置的下光路模组以及设置在所述上光路模组与所述下光路模组之间的可旋转的载物平台，所述上光路模组用以反射红外光以形成第一光路，所述下光路模组用以折射红外光以形成第二光路，所述载物平台用以安置待测物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阿博索伯(苏州)自动化设备科技有限公司 一种FTIR检测红外光路的上下光路模组
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