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申请/专利权人：意法半导体国际公司
摘要：一种压电微机械超声换能器PMUT阵列包括衬底，衬底具有被掩埋在其中的第一腔和第二腔。第一压电堆叠体由衬底承载并且至少部分地覆盖第一腔。第二压电堆叠体由衬底承载并且至少部分地覆盖第二腔。第二腔与第二压电堆叠体之间的衬底的厚度形成膜。电路装置将第二压电堆叠体操作为使膜振动，以生成超声波的脉冲，并且紧接着将第一压电堆叠体操作为引起第二腔的变形，第二腔的变形导致膜的谐振频率的增加。
主权项：1.一种压电微机械超声换能器PMUT的阵列，所述阵列包括：衬底，具有至少一个第一腔和至少一个第二腔，所述至少一个第一腔和所述至少一个第二腔被掩埋在所述衬底中；至少一个第一压电堆叠体，由所述衬底承载并且至少部分地覆盖所述至少一个第一腔；至少一个第二压电堆叠体，由所述衬底承载并且至少部分地覆盖所述至少一个第二腔；其中所述至少一个第二腔与所述至少一个第二压电堆叠体之间的所述衬底的厚度形成膜；电路装置，被配置为将所述至少一个第二压电堆叠体操作为使所述膜振动，用于生成超声波的脉冲，并且所述电路装置被配置为紧接着将所述至少一个第一压电堆叠体操作为引起所述至少一个第二腔的变形，所述至少一个第二腔的所述变形导致所述膜的谐振频率的增加。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 意法半导体国际公司 由于可调节的嵌入腔而具有可调的谐振频率的PMUT阵列
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