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一种空间窄频大数值孔径长焦深超分辨透镜及系统 

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申请/专利权人:重庆大学

摘要:本发明涉及一种空间窄频大数值孔径长焦深超分辨透镜及系统,其工作区域为圆环形区域,在环形光束的垂直照明下,空间窄频大数值孔径长焦深超分辨透镜在其出射端后的一个工作距离WD位置处开始,产生焦深为DOF的锥形聚焦光场;锥形聚焦光场的锥角为θa;空间窄频大数值孔径长焦深超分辨透镜的数值孔径为NAa=nwsinθa;DOF=Wactanθa;锥形聚焦光场的空间频率呈圆对称分布,径向频率ρ以ρa=NAaλ为中心呈单峰形分布;且位于峰形左、右的第一零点到峰值频率的距离分别为Δ1和Δ2;超分辨聚焦光斑的FWHM0.5λNAa。本发明能够提高样品的穿透深度、系统的光学分辨率和加工精度。

主权项:1.一种空间窄频大数值孔径长焦深超分辨透镜,其特征在于:空间窄频大数值孔径长焦深超分辨透镜(6)的工作区域为以透镜中心O为圆心,外半径为Ra2、内半径为Ra1的圆环形区域,该圆环形区域的宽度为Wa=Ra2-Ra1;在环形光束的垂直照明下,空间窄频大数值孔径长焦深超分辨透镜在其出射端后的一个工作距离WD位置处开始,产生焦深为DOF的锥形聚焦光场;其中,所述锥形聚焦光场的锥角为θa;所述空间窄频大数值孔径长焦深超分辨透镜(6)的数值孔径为NAa=nwsinθa,其中,nw为锥形聚焦光场所在介质的折射率,sin•为正弦函数;所述DOF=Wactanθa,且DOF>2nwλNAa2,其中,λ为照明光束波长;ctan•为反正切函数;所述锥形聚焦光场的空间频率呈圆对称分布,其径向频率ρ以ρa=NAaλ为中心呈单峰形分布,且ρnwλ;且位于峰形左、右的第一零点到峰值频率的距离分别为Δ1和Δ2;在沿光轴的焦深范围内,在垂直于光轴的平面内,超分辨聚焦光斑的FWHM0.5λNAa,其中,FWHM为半高全宽;超分辨聚焦光斑的第一零点半径小于0.61λNAa。

全文数据:

权利要求:

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