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申请/专利权人：鑫益邦半导体(江苏)有限公司
摘要：本申请介绍了一种晶片吸嘴脏污的检测装置，具有吸嘴、气体腔室、真空及加压装置、投光器、受光器。吸嘴的具有小圆柱状气体通道，在吸嘴正下方还具有受光器。投光器上段为光源，下端为大圆柱状光线通道，两圆柱的中心轴在同一根铅锤线上。小圆柱状气体通道从气体腔室的下表面插入，大圆柱状光线通道从气体腔室的上表面插入，真空及加压装置的气压管路从侧面插入气体腔室，并与吸嘴的气体通道相互连通。本发明将芯片的取用、脏污检测、芯片缺损检测功能合为一体，检测效率高，处理速度快，适合大规模生产实践。
主权项：1.一种晶片吸嘴脏污的检测装置，具有吸嘴（9）、气体腔室（7）、真空装置，吸嘴（9）具有小圆柱状气体通道（8），气体通道（8）从气体腔室（7）的下表面插入，其特征在于：另有投光器（1）、受光器（11）；投光器（1）上段为光源（2），下端为大圆柱状光线通道（4）；两通道的中心轴在同一根铅锤线上；所述的光源（2）与光线通道（4）的上端之间有一块透光玻璃（3），使得该端对气体密封；光线通道（4）从气体腔室（7）的上表面插入，气体通道（8）与光线通道（4）相隔一定间隙，光源（2）产生的光线能够从光线通道（4）经过气体腔室（7）直射入气体通道（8），并从吸嘴（9）下端射出；在吸嘴（9）的正下方还具有受光器（11）；吸嘴（9）下端与受光器（11）之间具有一定空间，供移送芯片（10），被吸嘴（9）下端吸附或释放；真空装置具有气压管路（6）和真空泵；气压管路（6）从侧面插入气体腔室（7），其开口端与吸嘴（9）的气体通道（8）相互连通，便于吸嘴（9）吸附或者释放芯片（10）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鑫益邦半导体(江苏)有限公司 晶片吸嘴脏污的检测装置
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