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申请/专利权人：通快激光系统半导体制造有限公司
摘要：本发明涉及一种通过对返回的激光脉冲的相消干涉进行的反向反射保护。前行的激光脉冲30被分裂，前行的第一激光脉冲部分30a与前行的第二激光脉冲部分30b相反地经过第一光束路径19。两个激光脉冲部分30a，b至少部分地建设性地叠加。此后，所述前行的激光脉冲30被反射，并且所述反射后的、返回的激光脉冲与所述前行的激光脉冲30经过基本上相同的行程，然而，返回的第一激光脉冲部分在经过所述第一光束路径19时这样相移，使得其在朝向所述激光束源14的行程上与返回的第二激光脉冲部分至少部分地、尤其是完全地破坏性地叠加，从而保护所述激光束源14以免受所述返回的激光脉冲影响。
主权项：1.用于用激光束28照射对象12的方法，其具有以下方法步骤：A从激光束源14发射所述激光束28的前行的激光脉冲30；B通过第一分束器16将所述前行的激光脉冲30分裂为前行的第一激光脉冲部分30a和前行的第二激光脉冲部分30b；C由所述前行的第一激光脉冲部分30a穿过第一光束路径19；D通过第二分束器18使所述第一激光脉冲部分30a和所述第二激光脉冲部分30b发生相长干涉；E使至少部分地重新联合的前行的激光脉冲30在所述对象12上发生反射，并且由此产生返回的激光脉冲34；F通过所述第二分束器18使所述返回的激光脉冲34分裂为返回的第一激光脉冲部分34a和返回的第二激光脉冲部分34b；G由所述返回的第一激光脉冲部分34a穿过所述第一光束路径19，其中，所述返回的第一激光脉冲部分34a经历与所述前行的第一激光脉冲部分30a不同的相移，其方式是，所述前行的激光脉冲30和所述返回的激光脉冲34至少部分地i经过调节元件20，相对于由所述前行的激光脉冲30经过所述调节元件，所述调节元件在由所述返回的激光脉冲34经过时发生调整；和或ii经过频移装置23，25；H通过所述第一分束器16使所述返回的激光脉冲34的第一激光脉冲部分34a与所述返回的激光脉冲34的第二激光脉冲部分34b朝向所述激光束源14去地至少部分地合并，其中，所述第一激光脉冲部分34a和所述第二激光脉冲部分34b发生相消干涉。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通快激光系统半导体制造有限公司 通过激光脉冲干涉的方法和设备进行的反向反射保护
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