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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明公开了一种强韧型非晶态CuZr‑晶态Cr梯度多层膜的制备方法，属于多层膜磁控溅射制造技术领域。本发明利用磁控溅射技术，通过非晶态CuZr层和晶态Cr层的交替沉积叠加，在非晶态CuZr中引入了厚度呈梯度分布的晶态Cr层，获得了强韧型非晶态CuZr‑晶态Cr梯度多层膜，非晶态CuZr层和晶态Cr层间具有良好的结合力，获得的强韧型非晶态CuZr‑晶态Cr梯度多层膜各层之间良好结合，无裂纹等缺陷产生。梯度晶态Cr层的引入显著提高了非晶态CuZr的强韧性。
主权项：1.一种引入梯度晶态层增强非晶态薄膜强韧性的方法，其特征在于，以非晶态薄膜为基体，在所述非晶态薄膜内插入厚度呈梯度分布的多层晶态层，获得非晶态层和晶态层交替叠加的非晶态-晶态梯度多层膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种强韧型非晶态CuZr-晶态Cr梯度多层膜的制备方法
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