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申请/专利权人：贰陆特拉华股份有限公司
摘要：本申请涉及用于铝离子束发生源技术的系统和方法。具体地，公开了一种注入装置。具体地，注入装置包括电离室，该电离室具有布置在其中的阴极和排斥极。铝离子源包括在该室内，其中在电离过程期间将置换气体引入室内以产生高能铝离子束。
主权项：1.一种用作电离过程的铝离子源的离子注入装置，所述装置包括：第一形状的第一节段；和第二形状的第二节段，其中所述第一节段和所述第二节段被紧固在一起以形成单个塞，所述塞配置为在存在等离子体的情况下射出铝离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 贰陆特拉华股份有限公司 用于铝离子束发生源技术的系统和方法
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