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一种空间频带可控大数值长焦深超分辨透镜及系统 

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申请/专利权人:重庆大学

摘要:本发明涉及一种空间频带可控大数值长焦深超分辨透镜及系统,其工作区域为圆环形区域;在环形光束的垂直照明下,空间频带可控大数值长焦深超分辨透镜在其出射端后的一个工作距离WD位置处开始,产生焦深为DOF的锥形聚焦光场;该锥形聚焦光场的内锥角和外锥角分别为θin和θout;内锥角和外锥角对应的数值孔径分别为NAin和NAout,锥形聚焦光场的空间频率呈圆对称分布;在沿光轴的焦深范围内,在垂直于光轴的平面内,超分辨聚焦光斑的FWHM0.5λNAout;超分辨聚焦光斑的第一零点半径小于0.61λNAout。本发明能够在光学显微和光学加工中,提高样品的穿透深度、系统的光学分辨率和加工精度。

主权项:1.一种空间频带可控大数值长焦深超分辨透镜,其特征在于:空间频带可控大数值长焦深超分辨透镜6的工作区域为以透镜中心O为圆心,外半径为Rout、内半径为Rin的圆环形区域,该圆环形区域的宽度为Wa=Rout-Rin;在环形光束的垂直照明下,空间频带可控大数值长焦深超分辨透镜6在其出射端后的一个工作距离WD位置处开始,产生焦深为DOF的锥形聚焦光场;所述该锥形聚焦光场的内锥角和外锥角分别为θin和θout,且Rin=WD×tanθin、Rout=WD+DOF×tanθout,其中,tan·为正切函数;所述内锥角和外锥角对应的数值孔径分别为NAin=nwsinθin和NAout=nwsinθout,其中,nw为锥形聚焦光场所在介质的折射率,sin·为正弦函数;所述DOF=Routctanθout-Rinctanθin,且DOF>2nwλNAout2,其中,λ为照明光束波长;ctan·为反正切函数;所述锥形聚焦光场的空间频率呈圆对称分布,且径向空间频率ρ分布在[NAinλ,NAoutλ]内;在沿光轴的焦深范围内,在垂直于光轴的平面内,超分辨聚焦光斑的FWHM0.5λNAout,其中,FWHM为半高全宽;超分辨聚焦光斑的第一零点半径小于0.61λNAout。

全文数据:

权利要求:

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