龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：南京先锋材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种高性能Al‑Sc合金溅射靶材的制作方法，包括以下步骤：1将高纯度的Al块和Sc块放入真空感应熔炼炉的熔炼坩埚中并抽真空；2启动真空感应熔炼炉对Al块和Sc块进行熔炼，感应功率设置为10‑15KW，熔炼时间为25min；3高纯高压高速惰性气体对Al‑Sc熔液进行雾化，致其破碎成颗粒；4Al‑Sc粉末装入石墨模具进行真空热压烧结；5真空感应熔炼炉自然降温至室温制得烧结好的Al‑Sc靶材胚子；6机械加工获得溅射靶材。本发明采用了真空感应熔炼+高纯惰性气体雾化采用+真空热压烧结+机械加工成靶材，制作的Al‑Sc溅射靶材产品纯度高，致密度高，内应力低，工序简单，易于机械加工。
主权项：1.一种高性能Al-Sc合金溅射靶材的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：1将高纯度的Al块和高纯度的Sc块放入真空感应熔炼炉的熔炼坩埚中，并将感应熔炼炉的腔体抽成真空；2启动真空感应熔炼炉，加热炉体内的坩埚进而对Al块和Sc块进行熔炼，其中，感应功率设置为10-15KW，熔炼时间为25min，得到Al-Sc熔液；3将步骤2中得到的Al-Sc熔液通过导流管流入感应加热的Al2O3中间包，在中间包的另外一端，使用高纯高压惰性气体喷向流出中间包的Al-Sc熔液，致其破碎成颗粒；4收集步骤3中雾化的Al-Sc粉末，并将该粉末填入到石墨模具，然后放置到真空热压烧结炉中，并再次将真空感应熔炼炉的腔体抽成真空；5关掉电源，使得真空感应熔炼炉自然降温至室温，将石墨模具取出，开炉并脱模后即可得到烧结好的Al-Sc靶材胚子；6通过机械磨床，将步骤5得到的Al-Sc靶材胚子加工成溅射机器图纸所要求的几何尺寸，即可制得Al-Sc溅射靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京先锋材料科技有限公司 一种高性能Al-Sc合金溅射靶材的制作方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号