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申请/专利权人：苏州芯合半导体材料有限公司
摘要：本发明提供一种劈刀抗脏污涂层及其制备方法，包括：劈刀基体，所述劈刀基体表面从里到外依次设有铬元素层、类金刚石层和纯石墨涂层，所述类金刚石层中掺杂有硅元素，这样降低了劈刀的表面能，抗脏污，减少劈刀表面金属脏污的堆积，使得劈刀的使用寿命得到了提升。
主权项：1.一种劈刀抗脏污涂层，其特征在于，包括：劈刀基体，所述劈刀基体表面从里到外依次设有铬元素层、类金刚石层和纯石墨涂层，所述类金刚石层中掺杂有硅元素。
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百度查询： 苏州芯合半导体材料有限公司 一种劈刀抗脏污涂层及其制备方法
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