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申请/专利权人：IMEC非营利协会
摘要：根据一方面，提供了一种EUV防护膜，其包括：防护膜框架；以及防护膜隔膜，该防护膜隔膜安装在该防护膜框架上并且包括CNT束的膜，其中，在该膜的任意2μm×2μm区域内：每束的CNT平均数量为至少5，平均束直径在6至16nm的范围内，平均面密度在0.4至6μgcm2的范围内，束间间距为250nm或更小，并且每根CNT的壁数为6或更少。
主权项：1.一种EUV防护膜，包括：防护膜框架；以及防护膜隔膜，该防护膜隔膜安装在该防护膜框架上并且包括CNT束的膜，其中，在该膜的任意2μm×2μm区域内：每束的CNT平均数量为至少5，平均束直径在6nm至16nm的范围内，平均面密度在0.4μgcm2至6μgcm2的范围内，束间间距为250nm或更小，并且每根CNT的壁数为6或更少。
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