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申请/专利权人：珠海市申科谱工业科技有限公司
摘要：本发明公开了一种料盘归正机构、上下料组件及半导体加工设备，包括限位框、升降载台和浮动载板，限位框具有相对布置的第一限位部和第二限位部，第一限位部和第二限位部之间形成限位空间升降载台安装在限位空间内且与第一限位部和第二限位部之间留有第一活动间隙，升降载台上设置有第一磁铁和多个滚动组件，浮动载板安装在升降载台上且与多个滚动组件抵接，浮动载板上且适配于第一磁铁的位置设置有第二磁铁，第二磁铁与第一磁铁之间具有第二活动间隙。本发明能够提高料盘归正的效率和稳定性。
主权项：1.一种料盘归正机构，其特征在于，包括：限位框（100），具有相对布置的第一限位部（110）和第二限位部（120），所述第一限位部（110）和所述第二限位部（120）之间形成限位空间（101）；升降载台（200），安装在所述限位空间（101）内且与所述第一限位部（110）和所述第二限位部（120）之间留有第一活动间隙（101），所述升降载台（200）上设置有第一磁铁（210）和多个滚动组件（220）；浮动载板（300），安装在所述升降载台（200）上且与所述多个滚动组件（220）抵接，所述浮动载板（300）上且适配于所述第一磁铁（210）的位置设置有第二磁铁（310），所述第二磁铁（310）与所述第一磁铁（210）之间具有第二活动间隙（311）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海市申科谱工业科技有限公司 料盘归正机构、上下料组件及半导体加工设备
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