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申请/专利权人：安徽工程大学
摘要：本实用新型公开了一种DMD光刻设备用高稳定反光镜，其涉及DMD光刻设备技术领域，旨在解决现有的反光镜在经过长时间的工作后，镜片容易出现松动，进而容易出现位置变化，在进行位置复位修正时，需要进行大量的拆卸工作，操作不便，实用性有待提高的问题，其技术方案要点包括第一基座，所述第一基座的两端分别一体连接有一个第二基座，所述第二基座的内壁上固定安装有多个安装座，所述安装座的安装槽内固定安装有镜片，所述镜片的外部包裹有密封气囊，所述密封气囊的外部设置有调节腔，所述第二基座的侧表面上一体连接有多个检测座，所述检测座与调节腔的数量以及位置均一一对应。达到了能灵活便捷的对松动的镜片进行复位修正，实用性高的效果。
主权项：1.一种DMD光刻设备用高稳定反光镜，包括第一基座1，其特征在于：所述第一基座1的两端分别一体连接有一个第二基座2，所述第二基座2的内壁上固定安装有多个安装座14，所述安装座14的安装槽内固定安装有镜片9，所述镜片9的外部包裹有密封气囊13，所述密封气囊13的外部设置有调节腔12，所述第二基座2的侧表面上一体连接有多个检测座4，所述检测座4与调节腔12的数量以及位置均一一对应，且检测座4的内部与调节腔12连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽工程大学 一种DMD光刻设备用高稳定反光镜
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