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申请/专利权人：苏州美芝恩电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及蒸发台设备技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台及便捷调整修正板机构，其技术方案包括蒸发台，所述蒸发台底部设置有底部安装座，所述底部安装座一侧安装有冷却机，所述冷却机一侧安装有散热板，所述散热板上设置有散热层，所述散热层上端安装有坩埚台，所述坩埚台上安装有坩埚，所述坩埚两侧安装有控制器。本实用新型通过在现有的电子束蒸发台上设计一种能便捷调整的修正板结构，可以根据不同的蒸发需求，对坩埚实现不同程度的覆盖，从而保证进入坩埚的电子数量，来确保反应的正常进行，如果修正板机构能实现便捷快速的调整，就能对生产工作效率造成较大的提升。
主权项：1.一种电子束蒸发台及便捷调整修正板机构，包括蒸发台1，其特征在于：所述蒸发台1底部设置有底部安装座17，所述底部安装座17一侧安装有冷却机18，所述冷却机18一侧安装有散热板19，所述散热板19上设置有散热层20，所述散热层20上端安装有坩埚台16，所述坩埚台16上安装有坩埚15，所述坩埚15两侧安装有控制器14，所述控制器14上端设置有伸缩杆13，所述伸缩杆13上安装有修正板12，所述蒸发台1一侧安装有铰链座5，所述铰链座5上安装有打击束源6，所述蒸发台1上端安装有安装板7，所述安装板7下端安装有夹台9，所述夹台9下端安装有靶材8，所述蒸发台1两侧安设置有悬空固定钢线11，所述悬空固定钢线11上安装有加速导向模块4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州美芝恩电子科技有限公司 一种电子束蒸发台及便捷调整修正板机构
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