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申请/专利权人：上海彤程电子材料有限公司;北京彤程创展科技有限公司;北京科华微电子材料有限公司;彤程化学(中国)有限公司;彤程新材料集团股份有限公司

摘要：本申请涉及光刻胶树脂技术领域，提供了一种测试丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物中重复单元的摩尔分数的方法，通过获得已知两种重复单元的摩尔比的丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物样品中羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值，建立得到标准曲线的回归方程；将待测样品中羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值代入上述回归方程，即可计算得到待测样品中两种重复单元的摩尔比，进而换算得到待测样品中重复单元的摩尔分数。该方法能够准确获得丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物待测样品中重复单元的摩尔分数，且不需要使用毒性较大的良溶剂，具有简便、分析速度快、准确度高、误差小、检测成本低、安全环保等优势。

主权项：1.一种测试丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物中重复单元的摩尔分数的方法，其中，丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物的结构式如式I所示： m与n为丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物中两种重复单元的个数；两种重复单元的摩尔比为其特征在于，包括以下步骤：S1、取5-10个不同已知摩尔比Y的丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物样品，在相同的光谱条件下进行红外光谱检测，分别得到各个样品的红外光谱图，获得各个样品中羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值；S2、以所述羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值为横坐标，所述两种重复单元的摩尔比为纵坐标，建立标准曲线，得到标准曲线的回归方程Y＝aX+b；其中，X为羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值，Y为两种重复单元的摩尔比，a、b为常数；S3、取丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物待测样品，在与步骤S1相同的光谱条件下进行红外光谱检测，得到待测样品的红外光谱图，获得待测样品中羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值；S4、根据所述标准曲线的回归方程，由所述待测样品中羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度的比值，计算得到待测样品中两种重复单元的摩尔比Y；根据重复单元的摩尔分数计算得到待测样品中重复单元的摩尔分数。

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权利要求：

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