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光伏电池激光加工装置及加工设备 

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申请/专利权人:拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种光伏电池激光加工装置及加工设备。该光伏电池激光加工装置包括激光器、光束整形器和可变焦液态镜头,激光器发出的激光能够在依次通过光束整形器和可变焦液态镜头后,于预设区域内形成聚焦平面。通过调整可调焦液态镜头的焦距,使得激光可以在通过聚焦镜后,于待加工件上的不同位置均聚焦形成相同的激光光斑,减少了枕型失真和腰鼓型失真,且通过光束整形器使得聚焦平面内形成的激光光斑的一致性、均匀性较优,保障了激光扫描加工的加工质量和加工一致性,也降低了激光扫描加工的加工难度,避免了因激光光斑的一致性较差导致的加工损伤。

主权项:1.光伏电池激光加工装置,其特征在于,包括:激光器11,用于产生激光100;光束整形器13,用于使所述激光100在预设区域200内能量均匀分布;可变焦液态镜头15,设置于所述光束整形器13远离所述激光器11的一侧,所述可变焦液态镜头15用于调整焦距,并根据所述预设区域200的形状形成聚焦平面;其中,所述激光100依次穿过所述光束整形器13、所述可变焦液态镜头15后,在所述聚焦平面内形成能量均匀分布的激光光斑。

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