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申请/专利权人：OTI公司
摘要：一种化合物和分层半导体器件，该分层半导体器件包括设置在该器件的侧向朝向的第一部分中的图案化涂层，该图案化涂层包含该化合物。该图案化涂层适于影响沉积材料的蒸汽通量在其上冷凝的倾向。该化合物包含多个倍半硅氧烷基团，包括但不限于第一倍半硅氧烷基团和第二倍半硅氧烷基团以及键合到该第一倍半硅氧烷基团和该第二倍半硅氧烷基团的连接基团，其中该第一倍半硅氧烷基团和该第二倍半硅氧烷基团中的至少一者包含含氟部分。该器件包括设置在器件的侧向朝向的第二部分中的沉积层，该沉积层包含沉积材料。
主权项：1.一种分层半导体器件，所述分层半导体器件包括：图案化涂层，所述图案化涂层设置在所述器件的侧向朝向的第一部分中并且适于影响沉积材料的蒸气通量在其上冷凝的倾向，所述图案化涂层包含含有多个倍半硅氧烷基团的化合物；和沉积层，所述沉积层设置在所述器件的所述侧向朝向的第二部分中，所述沉积层包含所述沉积材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： OTI公司 用于形成图案化涂层的包含多个倍半硅氧烷基团的化合物和结合有该化合物的器件
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