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申请/专利权人：斯通汉德科技(浙江)有限公司
摘要：本发明提供一种能够提高离子分布的再现性的超精密离子研磨仪。超精密离子研磨仪具有：离子源1；试样台2，其载置通过照射来自离子源1的非聚焦离子束而被加工的试样4；以及驱动单元8，其配置在离子源1与试样台2之间，且使在第一方向上延伸的线状的离子束测定部件7在与第一方向正交的第二方向上移动，在从离子源1以第一照射条件输出离子束的状态下，通过驱动单元8使离子束测定部件7在离子束的照射范围内移动，通过向离子束测定部件7照射离子束来测定流过离子束测定部件7的离子束电流。
主权项：1.一种超精密离子研磨仪，其特征在于，所述超精密离子研磨仪具有：离子源；试样台，其载置通过照射来自所述离子源的非聚焦离子束而被加工的试样；驱动单元，其配置在所述离子源与所述试样台之间，且使在第一方向上延伸的线状的离子束测定部件在与所述第一方向正交的第二方向上移动；以及控制部，所述控制部在从所述离子源以第一照射条件输出有所述离子束的状态下，通过所述驱动单元使所述离子束测定部件在所述离子束的照射范围内移动，通过向所述离子束测定部件照射所述离子束来测定流过所述离子束测定部件的离子束电流。
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权利要求：
百度查询： 斯通汉德科技(浙江)有限公司 超精密离子研磨仪
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